台阶仪：

1 型号：XP-1

2 生产国：美国

3 经费来源：

4 放置位置：公共测试中心

5 配套系统：防震台

•最大扫描长度30mm

•最大采样点数60,000

•扫描速度：0.01-0.2mm/s

•探针曲率半径2微米

•彩色摄像头

•最大样品厚度20mm

•最大垂直测量范围:400um

•垂直分辨率:垂直范围10um时

•台阶标样:100nm

负责人：陶春先/王琦老师