原子力显微镜：

1 型号：XE-100

2 生产国：韩国

3 经费来源：

4 放置位置：光仪所微纳光学实验室

5 配套系统：防震台

使用范围：可测薄膜、光栅样品表面形貌、槽深、粗糙度等。

负责人：王琦老师