型号

SP2750

焦距

750mm

数值孔径

f/9.8

CCD 分辨率(20um像素，20um狭缝)

0.06nm

PMT 分辨率(10um 狭缝)

0.03nm

光栅尺寸

68x68mm

精度

0.1nm

重复性

0.05nm